1.Kontrolli laser tuvastamise pea ja proovi skaneerimise etapp on integreeritud, struktuur on väga stabiilne ja sekkumisvastane
2.Perecision Sondi positsioneerimisseade, laserpunkti joondamise reguleerimine on väga lihtne
3.Sõit-telje draiviproov läheneb sondile automaatselt, nii et nõela ots on proovi skaneerimisega risti
4.Kontrollitud piesoelektrilise keraamilise automaatse tuvastamise intelligentse nõelaga söötmise meetod kaitseb sondi ja proovi
5. Automaatne optiline positsioneerimine, sondiproovi skaneerimise ala reaalajas vaatlus ja positsioneerimine
6
7.Metalli varjestatud helikindla karp, sisseehitatud ülitäpse temperatuuri ja niiskuse andur, töökeskkonna reaalajas jälgimine
8.integreeritud skanner mittelineaarne parandusredaktor, nanomeetri iseloomustus ja mõõtmise täpsus parem kui 98%
| Töörežiim | Puuterežiim, koputage režiimi |
| Valikuline režiim | Hõõrdumine/külgjõud, amplituud/faas, magnetiline/elektrostaatiline jõud |
| jõu spektri kõver | FZ jõu kõver, RMS-Z kõver |
| XY skaneerimise vahemik | 20*20um, valikuline 50*50um, 100*100um |
| Z -skannimisvahemik | 2,5um, valikuline 5um, 10um |
| Skaneerimisrežiim | Horisontaalne 0,2 nm, vertikaalne 0,05nm |
| Proovisuurus | Φ≤90mm, H≤20mm |
| Näidislavareis | 15*15mm |
| Optiline vaatlus | 4x optiline objektiiv lääts/2,5um eraldusvõime |
| Skaneerimiskiirus | 0,6Hz-30Hz |
| Skannimisnurk | 0-360 ° |
| Töökeskkond | Windows XP/7/8/10 opsüsteem |
| Suhtlusliides | USB2.0/3.0 |
| Šokkide absorbeerimise disain | Kevad riputatud/metallist varjestatud kast |
