1. Lasertuvastuspea ja proovi skaneerimise etapp on integreeritud, struktuur on väga stabiilne ja häiretevastane toime on tugev
2. Täppissondi positsioneerimisseade, laserpunkti joondamise reguleerimine on väga lihtne
3. Üheteljeline ajam läheneb automaatselt sondile vertikaalselt, nii et nõela ots on proovi skannimisega risti
4. Mootoriga juhitava survestatud piesoelektrilise keraamilise automaatse tuvastamise intelligentne nõela söötmismeetod kaitseb sondi ja proovi
5. Automaatne optiline positsioneerimine, pole vaja fokuseerida, reaalajas vaatlus ja sondi proovi skaneerimisala positsioneerimine
6.Spring vedrustuse põrutuskindel meetod, lihtne ja praktiline, hea põrutuskindel efekt
7. Metallist varjestatud helikindel kast, sisseehitatud ülitäpne temperatuuri- ja niiskusandur, töökeskkonna reaalajas jälgimine
8. Integreeritud skanneri mittelineaarse korrektsiooni kasutajaredaktor, nanomeetri iseloomustus ja mõõtmise täpsus on parem kui 98%
| Töörežiim | puuterežiim, puudutusrežiim |
| Valikuline režiim | Hõõrdumine/külgjõud, amplituud/faas, magnetiline/elektrostaatiline jõud |
| jõuspektri kõver | FZ jõukõver, RMS-Z kõver |
| XY skannimisvahemik | 20 * 20 um, valikuline 50 * 50 um, 100 * 100 um |
| Z skaneerimisvahemik | 2,5 um, valikuline 5 um, 10 um |
| Skannimise eraldusvõime | Horisontaalne 0,2nm, vertikaalne 0,05nm |
| Näidissuurus | Φ≤90mm, H≤20mm |
| Lavasõidu näidis | 15*15mm |
| Optiline vaatlus | 4x optiline objektiiv / 2,5 um eraldusvõime |
| Skaneerimise kiirus | 0,6-30 Hz |
| Skaneerimise nurk | 0-360° |
| Töökeskkond | Operatsioonisüsteem Windows XP/7/8/10 |
| Sideliides | USB2.0/3.0 |
| Lööke neelav disain | Vedruga riputatud/metallist varjestatud kast |
